同花顺300033)金融研究中心02月24日讯,有投资者向机器人300024)发问, 机器人有没有能够给半导体洁净的机器人
公司答复表明,您好,公司半导体配备产品首要有大气机械手、真空机械手等系列新产品、EFEM、真空传输渠道,首要运用在于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节的晶圆传输及转移。公司清洁机器人产品——星卫来,首要为工业清洁机器人,可应用于车间或洁净车间内。感谢重视。
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